VSH - Vakuumtransmitter
Verpackungseinheit: 1 Stück
Im digitalen Vakuumtransmitter VSH misst eine Kombination aus Piraniund Heißkathodensensor Absolutdruck von Atmosphäre bis Ultrahochvakuum.
Die intelligente Mikroprozessorsteuerung regelt automatisch das optimale Zusammenspiel beider Vakuumsensoren.
Smartline steht für den Einsatz modernster Technologie zur komfortablen, sicheren und kosteneffektiven Prozesssteuerung.
Typische Anwendungen:
- • Analysentechnik
- • Aufdampf- und Beschichtungsanlagen
- • Sputteranlagen
- • Messen und Steuern im Fein- und Hochvakuumbereich
- • Vakuumöfen
- • Verfahrenstechnik
- • Weltraumsimulationskammern
| TECHNISCHE DATEN | VSH |
| Vakuumtransmitter | |
| Messprinzip | Pirani/ Bayard Alpert, gasartabhängig |
| Medienberührendes Material | Edelstahl 1.4307, Ni, W, Pt, yttriertes Iridium, Glas |
| Messbereich | 1000 - 5 x 10-10 mbar (750 - 5 x 10-10 Torr), zul. Überlast 4 bar abs. |
| Genauigkeit | 1000 - 10 mbar: < 30 % vom Messwert 10 - 1 x 10-8 mbar: < 10 % vom Messwert |
| Wiederholgenauigkeit | ±2 % (10- 1 x 10-2 mbar), 5% (1 x10-2 bis 1 x 10-8 mbar) |
| Reaktionszeit | < 200 ms (2 s beim Umschalten der BA-Emissonsströme) |
| Emissionsstrom | Automatische Umschaltung 10 μA, 100 μA, 1 mA, 2 mA |
| Degas | Ohmsche Heizung der Anode |
| Spannungsversorgung | 20 - 30 VDC |
| Elektrischer Anschluss | VSH88D/DL, VSH89D/DL: SubD, 15pol., männl., verschraubbar VSH88E, VSH89E: M12 Rundsteckverbinder, weibl., verschraubbar, 1x A-Standard, 5pol., 2x D-codiert, 4pol. |
| Leistungsaufnahme | Ca. 8 W, zusätzlich 1 W f. Degas und 0,8 W f. EtherCAT/Relais/LCD |
| Umgebungstemperatur | +5...+60°C |
| Lagertemperatur | -40...+65°C |
| Maximale Ausheiztemperatur | 180°C am Flansch (Elektronik abgenommen) |
| Ausgangssignal | 0 - 10 VDC, Messbereich 1,219 - 8,6 VDC, logarithm., 0,6 V/Dekade Lastwiderstand > 10k W (VSH88D/DL, VSH89D/DL) |
| Serielle Schnittstelle | RS485: 9,6 kBit/s bis 115 kBit/s, Adresschalter 1 - 16 |
| Vakuumanschluss | DN 40 ISO-KF (VSH88), DN 40 CF (VSH89) |
| Schaltpunkte | 2 Relais (Wechsler), 50 VAC / 2 A, 30VDC / 2 A, max. 60 VA |
| Schutzart | IP54 (VSH88E, VSH89E), IP40 (VSH88D/DL, VSH89D/DL) |
| Gewicht | Ca. 555 g |
Lieferzeit: 5 bis 10 Werktage
| Spezifikation | Gewicht | Anschluss | LCD Anzeige | Ausgang | Bestell-Nr: | Preis € / Netto | Preis € / Brutto* | Angebot |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VSH88D | 555 gr | DN 40 ISO-KF | 0 - 10 V log. und RS485 | MG920012 | 1.156,00** | 1.375,64** | ||
| VSH88DL | 555 gr | DN 40 ISO-KF | X | 0 - 10 V log. und RS485 | MG920013 | 1.249,00** | 1.486,31** | |
| VSH88E | 555 gr | DN 40 ISO-KF | RS485 und EtherCAT | MG920014 | 1.490,00** | 1.773,10** | ||
| VSH89D | 555 gr | DN 40 CF-F | 0 - 10 V log. und RS485 | MG920015 | 1.189,00** | 1.414,91** | ||
| VSH89DL | 555 gr | DN 40 CF-F | X | 0 - 10 V log. und RS485 | MG920016 | 1.282,00** | 1.525,58** | |
| VSH89E | 555 gr | DN 40 CF-F | RS485 und EtherCAT | MG920017 | 1.524,00** | 1.813,56** |
| Spezifikation | VSH88D |
|---|---|
| Gewicht | 555 gr |
| Anschluss | DN 40 ISO-KF |
| LCD Anzeige | |
| Ausgang | 0 - 10 V log. und RS485 |
| Bestell-Nr: | MG920012 |
| Preis € / Netto | 1.156,00** |
| Preis € / Brutto* | 1.375,64** |
| Spezifikation | VSH88DL |
|---|---|
| Gewicht | 555 gr |
| Anschluss | DN 40 ISO-KF |
| LCD Anzeige | X |
| Ausgang | 0 - 10 V log. und RS485 |
| Bestell-Nr: | MG920013 |
| Preis € / Netto | 1.249,00** |
| Preis € / Brutto* | 1.486,31** |
| Spezifikation | VSH88E |
|---|---|
| Gewicht | 555 gr |
| Anschluss | DN 40 ISO-KF |
| LCD Anzeige | |
| Ausgang | RS485 und EtherCAT |
| Bestell-Nr: | MG920014 |
| Preis € / Netto | 1.490,00** |
| Preis € / Brutto* | 1.773,10** |
| Spezifikation | VSH89D |
|---|---|
| Gewicht | 555 gr |
| Anschluss | DN 40 CF-F |
| LCD Anzeige | |
| Ausgang | 0 - 10 V log. und RS485 |
| Bestell-Nr: | MG920015 |
| Preis € / Netto | 1.189,00** |
| Preis € / Brutto* | 1.414,91** |
| Spezifikation | VSH89DL |
|---|---|
| Gewicht | 555 gr |
| Anschluss | DN 40 CF-F |
| LCD Anzeige | X |
| Ausgang | 0 - 10 V log. und RS485 |
| Bestell-Nr: | MG920016 |
| Preis € / Netto | 1.282,00** |
| Preis € / Brutto* | 1.525,58** |
| Spezifikation | VSH89E |
|---|---|
| Gewicht | 555 gr |
| Anschluss | DN 40 CF-F |
| LCD Anzeige | |
| Ausgang | RS485 und EtherCAT |
| Bestell-Nr: | MG920017 |
| Preis € / Netto | 1.524,00** |
| Preis € / Brutto* | 1.813,56** |
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