VSM - Vakuumtransmitter
Verpackungseinheit: 1 Stück
Im digitalen Vakuumtransmitter VSM misst eine Kombination aus Piraniund Heißkathodensensor Absolutdruck von Atmosphäre bis Ultrahochvakuum.
Die intelligente Mikroprozessorsteuerung regelt automatisch das optimale Zusammenspiel beider Vakuumsensoren.
Smartline steht für den Einsatz modernster Technologie zur komfortablen, sicheren und kosteneffektiven Prozesssteuerung.
Typische Anwendungen:
- • Analysentechnik
- • Aufdampf- und Beschichtungsanlagen
- • Sputteranlagen
- • Messen und Steuern im Fein- und Hochvakuumbereich
- • Verfahrenstechnik
- • Weltraumsimulationskammern
TECHNISCHE DATEN | VSM |
Vakuumtransmitter | |
Messprinzip | Pirani/ Bayard Alpert, gasartabhängig |
Medienberührendes Material | Edelstahl 1.4307, Nickel, Wolfram, Molybdän, Glas, Keramik |
Messbereich | 1000 - 5 x 10-9 mbar (750 - 5 x 10-9 Torr), zul. Überlast 4 bar absolut |
Genauigkeit | 1000 - 10 mbar: < 30 % vom Messwert 10 - 2 x 10-3 mbar: < 10 % vom Messwert 2 x 10-3 mbar - 1 x 10-8 mbar: < 25% vom Messwert |
Wiederholgenauigkeit | 10 - 1 x 10-2 mbar: Ca. ±2% vom Messwert 1 x 10-2-1 x 10-8 mbar: Ca. ±7% vom Messwert |
Reaktionszeit | 200 ms (1 s beim Einschalten der Kaltkathode) |
Kathodenspannung | Max. 2,5 kV |
Spannungsversorgung | 20 - 30 VDC |
Elektrischer Anschluss | VSM77D/DL, VSM79D/DL: SubD, 15pol., männl., verschraubbar VSM77E, VSM79E: M12 Rundsteckverbinder, weibl., verschraubbar, 1x A-Standard, 5pol., 2x D-codiert, 4pol. |
Leistungsaufnahme | Max. 3 W, zusätzlich 0,8 W f. EtherCAT / Relais / LCD |
Umgebungstemperatur | +5...+60°C |
Lagertemperatur | -40...+65°C |
Maximale Ausheiztemperatur | 160°C am Flansch (Elektronik abgenommen) |
Ausgangssignal | 0 - 10 VDC, Messbereich 1,819 - 8,6 VDC, logarithm., 0,6V/Dekade Lastwiderstand > 10k W (VSM77D/DL, VSM79D/DL) |
Serielle Schnittstelle | RS485: 9,6 kBit/s bis 115 kBit/s, Adresschalter 1 - 16 |
Vakuumanschluss | DN 25 ISO-KF (VSM77), DN 40 CF-F (VSM79) |
Schaltpunkte | 2 Relais (Wechsler), 50 VAC / 2 A, 30 VDC / 2 A, max. 60 VA |
Schutzart | IP54 (VSM77E, VSM79E), IP40 (VSM77D/DL, VSM79D/DL) |
Gewicht | Ca. 555 g |
Lieferzeit: 5 bis 10 Werktage
Spezifikation | Gewicht | Anschluss | LCD Anzeige | Ausgang | Bestell-Nr: | Preis € / Netto | Preis € / Brutto* | Angebot |
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VSM77D | 555 gr | DN 25 ISO-KF | 0 - 10 V und RS485 | MG920018 | 1,07** | 1,27** | ||
VSM77DL | 555 gr | DN 25 ISO-KF | X | 0 - 10 V und RS485 | MG920019 | 1.178,00** | 1.401,82** | |
VSM77E | 555 gr | DN 25 ISO-KF | RS485 und EtherCAT | MG920020 | 1,41** | 1,68** | ||
VSM79D | 555 gr | DN 40 CF-F | 0 - 10 V und RS485 | MG920021 | 1,12** | 1,33** | ||
VSM79DL | 555 gr | DN 40 CF-F | X | 0 - 10 V und RS485 | MG920022 | 1,22** | 1,45** | |
VSM79E | 555 gr | DN 40 CF-F | RS485 und EtherCAT | MG920023 | 1,46** | 1,74** |
Spezifikation | VSM77D |
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Gewicht | 555 gr |
Anschluss | DN 25 ISO-KF |
LCD Anzeige | |
Ausgang | 0 - 10 V und RS485 |
Bestell-Nr: | MG920018 |
Preis € / Netto | 1,07** |
Preis € / Brutto* | 1,27** |
Spezifikation | VSM77DL |
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Gewicht | 555 gr |
Anschluss | DN 25 ISO-KF |
LCD Anzeige | X |
Ausgang | 0 - 10 V und RS485 |
Bestell-Nr: | MG920019 |
Preis € / Netto | 1.178,00** |
Preis € / Brutto* | 1.401,82** |
Spezifikation | VSM77E |
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Gewicht | 555 gr |
Anschluss | DN 25 ISO-KF |
LCD Anzeige | |
Ausgang | RS485 und EtherCAT |
Bestell-Nr: | MG920020 |
Preis € / Netto | 1,41** |
Preis € / Brutto* | 1,68** |
Spezifikation | VSM79D |
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Gewicht | 555 gr |
Anschluss | DN 40 CF-F |
LCD Anzeige | |
Ausgang | 0 - 10 V und RS485 |
Bestell-Nr: | MG920021 |
Preis € / Netto | 1,12** |
Preis € / Brutto* | 1,33** |
Spezifikation | VSM79DL |
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Gewicht | 555 gr |
Anschluss | DN 40 CF-F |
LCD Anzeige | X |
Ausgang | 0 - 10 V und RS485 |
Bestell-Nr: | MG920022 |
Preis € / Netto | 1,22** |
Preis € / Brutto* | 1,45** |
Spezifikation | VSM79E |
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Gewicht | 555 gr |
Anschluss | DN 40 CF-F |
LCD Anzeige | |
Ausgang | RS485 und EtherCAT |
Bestell-Nr: | MG920023 |
Preis € / Netto | 1,46** |
Preis € / Brutto* | 1,74** |
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