Vakuum Elevator
Bestellnummer: AB980002
Verpackungseinheit: 1 Stück
Die Hubwerke mit integrierter Steuerung überwinden Höhendifferenzen von bis zu 200mm oder heben kundenspezifische Kassetten. Die Linearführung ist mittels eines Faltenbalgs abgedichtet und somit für alle Vakuumbereiche geeignet.
Produktvorteile:
• Leicht und kompakt
• Normflansch für HV und UHV
• Justierbar ± 3,5°
• Beliebige Einbaulage
• Integrierter Controller mit EtherCat-Schnittstelle
Ausführung:
• Hochvakuum Linearachse
• Anschlussflansch ISO-CF 40
• Nutzlast bis 10 kg
• Ausheizbar bis 120 °C
• Betriebsspannung 24 V
• Integrierter Controller
Einsatzgebiete:
• Hochvakuum
• Ultrahochvakuum
• Reinraum
• Hubwerk für Wafer-Kassetten
• Hubwerk für Loadlocks
Lieferumfang:
• Vakuum Elevator
• Nivellierschlüssel
• Schnittstellenzeichnung
• Betriebsanleitung
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| Spezifikation | Gewicht | Menge | EP/VE | Bestell-Nr: | Preis € / Netto | Preis € / Brutto* | Angebot |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Vakuum Elevator | 7.5 kg | 1 | Stück | AB980002 | 8.400,00** | 9.996,00** |
| Spezifikation | Vakuum Elevator |
|---|---|
| Gewicht | 7.5 kg |
| Menge | 1 |
| EP/VE | Stück |
| Bestell-Nr: | AB980002 |
| Preis € / Netto | 8.400,00** |
| Preis € / Brutto* | 9.996,00** |
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