Kamera zur Diagnostik im Vakuum und/ oder in aggressiven Medien. Geeignet für den
Einsatz im Reinraum aufgrund sehr guter Chemikalienbeständigkeit.
Einsatzgebiete:
- Visualisierung unter besonderen
Umgebungsbedingungen wie Hochvakuum,
Reinraum oder in aggressiven Medien
- Livebild zur Fehleranalyse
- Aufzeichnung von schnellen Bewegungsvorgängen
zur anschließenden Auswertung
- Visuelle Unterstützung bei der Prozesseinrichtung
und -optimierung
Die Hubwerke mit integrierter Steuerung überwinden Höhendifferenzen von bis zu 200mm oder heben kundenspezifische Kassetten. Die Linearführung ist mittels eines Faltenbalgs abgedichtet und somit für alle Vakuumbereiche geeignet.
Produktvorteile:
• Leicht und kompakt
• Normflansch für HV und UHV
• Justierbar ± 3,5°
• Beliebige Einbaulage
• Integrierter Controller mit EtherCat-Schnittstelle
Einsatzgebiete:
• Hochvakuum
• Ultrahochvakuum
• Reinraum
• Hubwerk für Wafer-Kassetten
• Hubwerk für Loadlocks
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