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VSM - Vakuumtransmitter

Verpackungseinheit: 1 Stück

Im digitalen Vakuumtransmitter VSM misst eine Kombination aus Piraniund Heißkathodensensor Absolutdruck von Atmosphäre bis Ultrahochvakuum.
Die intelligente Mikroprozessorsteuerung regelt automatisch das optimale Zusammenspiel beider Vakuumsensoren.
Smartline steht für den Einsatz modernster Technologie zur komfortablen, sicheren und kosteneffektiven Prozesssteuerung.

 

Typische Anwendungen:

  • • Analysentechnik
  • • Aufdampf- und Beschichtungsanlagen
  • • Sputteranlagen
  • • Messen und Steuern im Fein- und Hochvakuumbereich
  • • Verfahrenstechnik
  • • Weltraumsimulationskammern

 

TECHNISCHE DATEN VSM
Vakuumtransmitter
Messprinzip Pirani/ Bayard Alpert, gasartabhängig
Medienberührendes Material Edelstahl 1.4307, Nickel, Wolfram, Molybdän, Glas, Keramik
Messbereich 1000 - 5 x 10-9 mbar (750 - 5 x 10-9 Torr), zul. Überlast 4 bar absolut
Genauigkeit 1000 - 10 mbar: < 30 % vom Messwert
10 - 2 x 10-3 mbar: < 10 % vom Messwert
2 x 10-3 mbar - 1 x 10-8 mbar: < 25% vom Messwert
Wiederholgenauigkeit 10 - 1 x 10-2 mbar: Ca. ±2% vom Messwert
1 x 10-2-1 x 10-8 mbar: Ca. ±7% vom Messwert
Reaktionszeit 200 ms (1 s beim Einschalten der Kaltkathode)
Kathodenspannung Max. 2,5 kV
Spannungsversorgung 20 - 30 VDC
Elektrischer Anschluss VSM77D/DL, VSM79D/DL: SubD, 15pol., männl., verschraubbar
VSM77E, VSM79E: M12 Rundsteckverbinder, weibl., verschraubbar,
1x A-Standard, 5pol., 2x D-codiert, 4pol.
Leistungsaufnahme Max. 3 W, zusätzlich 0,8 W f. EtherCAT / Relais / LCD
Umgebungstemperatur +5...+60°C
Lagertemperatur -40...+65°C
Maximale Ausheiztemperatur 160°C am Flansch (Elektronik abgenommen)
Ausgangssignal 0 - 10 VDC, Messbereich 1,819 - 8,6 VDC, logarithm., 0,6V/Dekade
Lastwiderstand > 10k W (VSM77D/DL, VSM79D/DL)
Serielle Schnittstelle RS485: 9,6 kBit/s bis 115 kBit/s, Adresschalter 1 - 16
Vakuumanschluss DN 25 ISO-KF (VSM77), DN 40 CF-F (VSM79)
Schaltpunkte 2 Relais (Wechsler), 50 VAC / 2 A, 30 VDC / 2 A, max. 60 VA
Schutzart IP54 (VSM77E, VSM79E), IP40 (VSM77D/DL, VSM79D/DL)
Gewicht Ca. 555 g
Spezifikation Gewicht Anschluss LCD Anzeige Ausgang Bestell-Nr: Preis € / Netto Preis € / Brutto*  
VSM77D 555 gr DN 25 ISO-KF 0 - 10 V und RS485 MG920018 928,00** 1.104,32**
VSM77DL 555 gr DN 25 ISO-KF X 0 - 10 V und RS485 MG920019 1.023,00** 1.217,37**
VSM77E 555 gr DN 25 ISO-KF RS485 und EtherCAT MG920020 1.198,00** 1.425,62**
VSM79D 555 gr DN 40 CF-F 0 - 10 V und RS485 MG920021 956,00** 1.137,64**
VSM79DL 555 gr DN 40 CF-F X 0 - 10 V und RS485 MG920022 1.051,00** 1.250,69**
VSM79E 555 gr DN 40 CF-F RS485 und EtherCAT MG920023 1.226,00** 1.458,94**
SpezifikationVSM77D
Gewicht555 gr
AnschlussDN 25 ISO-KF
LCD Anzeige
Ausgang0 - 10 V und RS485
Bestell-Nr:MG920018
Preis € / Netto928,00**
Preis € / Brutto*1.104,32**
 
SpezifikationVSM77DL
Gewicht555 gr
AnschlussDN 25 ISO-KF
LCD AnzeigeX
Ausgang0 - 10 V und RS485
Bestell-Nr:MG920019
Preis € / Netto1.023,00**
Preis € / Brutto*1.217,37**
 
SpezifikationVSM77E
Gewicht555 gr
AnschlussDN 25 ISO-KF
LCD Anzeige
AusgangRS485 und EtherCAT
Bestell-Nr:MG920020
Preis € / Netto1.198,00**
Preis € / Brutto*1.425,62**
 
SpezifikationVSM79D
Gewicht555 gr
AnschlussDN 40 CF-F
LCD Anzeige
Ausgang0 - 10 V und RS485
Bestell-Nr:MG920021
Preis € / Netto956,00**
Preis € / Brutto*1.137,64**
 
SpezifikationVSM79DL
Gewicht555 gr
AnschlussDN 40 CF-F
LCD AnzeigeX
Ausgang0 - 10 V und RS485
Bestell-Nr:MG920022
Preis € / Netto1.051,00**
Preis € / Brutto*1.250,69**
 
SpezifikationVSM79E
Gewicht555 gr
AnschlussDN 40 CF-F
LCD Anzeige
AusgangRS485 und EtherCAT
Bestell-Nr:MG920023
Preis € / Netto1.226,00**
Preis € / Brutto*1.458,94**
 
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