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VSH - Vakuumtransmitter

Verpackungseinheit: 1 Stück

Im digitalen Vakuumtransmitter VSH misst eine Kombination aus Piraniund Heißkathodensensor Absolutdruck von Atmosphäre bis Ultrahochvakuum.
Die intelligente Mikroprozessorsteuerung regelt automatisch das optimale Zusammenspiel beider Vakuumsensoren.
Smartline steht für den Einsatz modernster Technologie zur komfortablen, sicheren und kosteneffektiven Prozesssteuerung.

 

Typische Anwendungen:

  • • Analysentechnik
  • • Aufdampf- und Beschichtungsanlagen
  • • Sputteranlagen
  • • Messen und Steuern im Fein- und Hochvakuumbereich
  • • Vakuumöfen
  • • Verfahrenstechnik
  • • Weltraumsimulationskammern

 

TECHNISCHE DATEN VSH
Vakuumtransmitter
Messprinzip Pirani/ Bayard Alpert, gasartabhängig
Medienberührendes Material Edelstahl 1.4307, Ni, W, Pt, yttriertes Iridium, Glas
Messbereich 1000 - 5 x 10-10 mbar (750 - 5 x 10-10 Torr), zul. Überlast 4 bar abs.
Genauigkeit 1000 - 10 mbar: < 30 % vom Messwert
10 - 1 x 10-8 mbar: < 10 % vom Messwert
Wiederholgenauigkeit ±2 % (10- 1 x 10-2 mbar), 5% (1 x10-2 bis 1 x 10-8 mbar)
Reaktionszeit < 200 ms (2 s beim Umschalten der BA-Emissonsströme)
Emissionsstrom Automatische Umschaltung 10 μA, 100 μA, 1 mA, 2 mA
Degas Ohmsche Heizung der Anode
Spannungsversorgung 20 - 30 VDC
Elektrischer Anschluss VSH88D/DL, VSH89D/DL: SubD, 15pol., männl., verschraubbar
VSH88E, VSH89E: M12 Rundsteckverbinder, weibl., verschraubbar,
1x A-Standard, 5pol., 2x D-codiert, 4pol.
Leistungsaufnahme Ca. 8 W, zusätzlich 1 W f. Degas und 0,8 W f. EtherCAT/Relais/LCD
Umgebungstemperatur +5...+60°C
Lagertemperatur -40...+65°C
Maximale Ausheiztemperatur 180°C am Flansch (Elektronik abgenommen)
Ausgangssignal 0 - 10 VDC, Messbereich 1,219 - 8,6 VDC, logarithm., 0,6 V/Dekade
Lastwiderstand > 10k W (VSH88D/DL, VSH89D/DL)
Serielle Schnittstelle RS485: 9,6 kBit/s bis 115 kBit/s, Adresschalter 1 - 16
Vakuumanschluss DN 40 ISO-KF (VSH88), DN 40 CF (VSH89)
Schaltpunkte 2 Relais (Wechsler), 50 VAC / 2 A, 30VDC / 2 A, max. 60 VA
Schutzart IP54 (VSH88E, VSH89E), IP40 (VSH88D/DL, VSH89D/DL)
Gewicht Ca. 555 g
Spezifikation Gewicht Anschluss LCD Anzeige Ausgang Bestell-Nr: Preis € / Netto Preis € / Brutto*  
VSH88D 555 gr DN 40 ISO-KF 0 - 10 V log. und RS485 MG920012 1.019,00 1.212,61
VSH88DL 555 gr DN 40 ISO-KF X 0 - 10 V log. und RS485 MG920013 1.114,00 1.325,66
VSH88E 555 gr DN 40 ISO-KF RS485 und EtherCAT MG920014 1.289,00 1.533,91
VSH89D 555 gr DN 40 CF-F 0 - 10 V log. und RS485 MG920015 1.070,00 1.273,30
VSH89DL 555 gr DN 40 CF-F X 0 - 10 V log. und RS485 MG920016 1.165,00 1.386,35
VSH89E 555 gr DN 40 CF-F RS485 und EtherCAT MG920017 1.340,00 1.594,60
SpezifikationVSH88D
Gewicht555 gr
AnschlussDN 40 ISO-KF
LCD Anzeige
Ausgang0 - 10 V log. und RS485
Bestell-Nr:MG920012
Preis € / Netto1.019,00
Preis € / Brutto*1.212,61
 
SpezifikationVSH88DL
Gewicht555 gr
AnschlussDN 40 ISO-KF
LCD AnzeigeX
Ausgang0 - 10 V log. und RS485
Bestell-Nr:MG920013
Preis € / Netto1.114,00
Preis € / Brutto*1.325,66
 
SpezifikationVSH88E
Gewicht555 gr
AnschlussDN 40 ISO-KF
LCD Anzeige
AusgangRS485 und EtherCAT
Bestell-Nr:MG920014
Preis € / Netto1.289,00
Preis € / Brutto*1.533,91
 
SpezifikationVSH89D
Gewicht555 gr
AnschlussDN 40 CF-F
LCD Anzeige
Ausgang0 - 10 V log. und RS485
Bestell-Nr:MG920015
Preis € / Netto1.070,00
Preis € / Brutto*1.273,30
 
SpezifikationVSH89DL
Gewicht555 gr
AnschlussDN 40 CF-F
LCD AnzeigeX
Ausgang0 - 10 V log. und RS485
Bestell-Nr:MG920016
Preis € / Netto1.165,00
Preis € / Brutto*1.386,35
 
SpezifikationVSH89E
Gewicht555 gr
AnschlussDN 40 CF-F
LCD Anzeige
AusgangRS485 und EtherCAT
Bestell-Nr:MG920017
Preis € / Netto1.340,00
Preis € / Brutto*1.594,60
 
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