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Vakuum Elevator Drucken

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Verpackungseinheit: 1 Stück

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Die Hubwerke mit integrierter Steuerung überwinden Höhendifferenzen von bis zu 200mm oder heben kundenspezifische Kassetten. Die Linearführung ist mittels eines Faltenbalgs abgedichtet und somit für alle Vakuumbereiche geeignet.

Produktvorteile:

• Leicht und kompakt
• Normflansch für HV und UHV
• Justierbar ± 3,5°
• Beliebige Einbaulage
• Integrierter Controller mit EtherCat-Schnittstelle

Ausführung:
• Hochvakuum Linearachse
• Anschlussflansch ISO-CF 40
• Nutzlast bis 10 kg
• Ausheizbar bis 120 °C
• Betriebsspannung 24 V
• Integrierter Controller

Einsatzgebiete:
• Hochvakuum
• Ultrahochvakuum
• Reinraum
• Hubwerk für Wafer-Kassetten
• Hubwerk für Loadlocks

Lieferumfang:
• Vakuum Elevator
• Nivellierschlüssel
• Schnittstellenzeichnung
• Betriebsanleitung

Spezifikation	Gewicht	Menge	EP/VE	Bestell-Nr:	Preis €
Vakuum Elevator	7.5 kg	1	Stück	AB980002	8.400,00