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Dekont Vakuum - Shop

Vakuum Elevator

Verpackungseinheit: 1 Stück

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Die Hubwerke mit integrierter Steuerung überwinden Höhendifferenzen von bis zu 200mm oder heben kundenspezifische Kassetten. Die Linearführung ist mittels  eines Faltenbalgs abgedichtet und somit für alle Vakuumbereiche geeignet.

Produktvorteile:

• Leicht und kompakt
• Normflansch für HV und UHV
• Justierbar ± 3,5°
• Beliebige Einbaulage
• Integrierter Controller mit EtherCat-Schnittstelle

 

Ausführung:
• Hochvakuum Linearachse
• Anschlussflansch ISO-CF 40
• Nutzlast bis 10 kg
• Ausheizbar bis 120 °C
• Betriebsspannung 24 V
• Integrierter Controller


Einsatzgebiete:
• Hochvakuum
• Ultrahochvakuum
• Reinraum
• Hubwerk für Wafer-Kassetten
• Hubwerk für Loadlocks


Lieferumfang:
• Vakuum Elevator
• Nivellierschlüssel
• Schnittstellenzeichnung
• Betriebsanleitung

Spezifikation Gewicht Menge EP/VE Bestell-Nr: Preis € / Netto Preis € / Brutto*  
Vakuum Elevator 7.5 kg 1 Stück AB980002 8.000,00** 9.520,00**
SpezifikationVakuum Elevator
Gewicht7.5 kg
Menge1
EP/VEStück
Bestell-Nr:AB980002
Preis € / Netto8.000,00**
Preis € / Brutto*9.520,00**
 
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