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VSR - Vakuumtransmitter Drucken
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Verpackungseinheit: 1 Stück
Im digitalen Vakuumtransmitter VSR sorgt eine Kombination aus Piezound Piranisensor für hohe Genauigkeit und exzellente Auflösung sowohl im Grob- als auch im Feinvakuumbereich.
Die intelligente Mikroprozessorsteuerung regelt automatisch das optimale Zusammenspiel beider Vakuumsensoren.
Smartline steht für den Einsatz modernster Digitaltechnologie zur komfortablen, sicheren und kosteneffektiven Prozesssteuerung.
Typische Anwendungen:
- • Loadlock-Kammern
- • Analysentechnik
- • Beschichtungsanlagen
- • Vakuumöfen
- • Lecktests
- • Betriebskontrolle an Vorvakuumpumpen
- • Verfahrenstechnik
- • Massenspektrometer
- • Sicherheitsschaltungen in Vakuumsystemen
| TECHNISCHE DATEN | VSR |
| Vakuumtransmitter | |
| Messprinzip | Membran piezoresisistiv / Pirani |
| Medienberührendes Material | Edelstahl 1.4307, Nickel, Gold, Siliziumdioxid, Wolfram, Glas |
| Messbereich | 1200 - 1 x 10-4 mbar (900 - 1 x 10-4 Torr), zul. Überlast 4 bar abs. |
| Genauigkeit | 1200 - 10 mbar: ±0,3 % vom Skalenendwert, 10 - 2 x 10-3 mbar: ca. ±10 % vom Messwert |
| Wiederholgenauigkeit | 1200-10 mbar: ±0,1 % vom Skalenendwert, 10-2x10-3 mbar: ±2% vom Messwert |
| Reaktionszeit | 1200 - 10 mbar: < 30ms (Piezo) 10 - 2 x 10-3 mbar: < 100 ms (Pirani) |
| Spannungsversorgung | 20 - 30 VDC |
| Elektrischer Anschluss | VSR53D/DL, VSR54D/DL: SubD 15pol., männl., verschraubbar VSR53E, VSR54E: M12 Rundsteckverbinder, weibl., verschraubbar, 1x A-Standard, 5pol., 2x D-codiert, 4 pol. |
| Leistungsaufnahme | 2,5 W, zusätzlich 0,8 W für EtherCAT / Relais / LCD |
| Umgebungstemperatur | 5...+60°C (rel. Feuchte max . 80% bei 30°C nicht betauend) |
| Lagertemperatur | -40...+65°C |
| Ausheiztemperatur | 125°C am Flansch |
| Ausgangssignal | 0-10 VDC, Messbereich 1,5 bis 8,58 VDC, logarithmisch, 1 V / Dekade, Lastwiderstand > 10 k W (VSR53D/DL, VSR54D/DL) |
| Serielle Schnittstelle | RS485: 9,6 kBit/s bis 115 kBit/s, Adresschalter 1 - 16 |
| Vakuumanschluss | DN 16 ISO-KF (VSR53), DN 16 CF-F (VSR54) |
| Schaltpunkte | 2 Relais (Wechsler), 50 VAC / 2 A, 30VDC / 2 A, max. 60 VA |
| Schutzart | IP54 (VSR53E, VSR54E), IP40 (VSR53D/DL, VSR54D/DL) |
| Gewicht | 220 g (VSR53D) |
| Spezifikation | Gewicht | Anschluss | LCD Anzeige | Ausgang | Bestell-Nr: | Preis € |
|---|---|---|---|---|---|---|
| VSR53D | 220 gr | DN 16 ISO-KF | RS485 und 0-10V | MG920030 | 572,25 | |
| VSR53DL | 220 gr | DN 16 ISO-KF | X | RS485 und 0-10V | MG920031 | 661,50 |
| VSR53E | 220 gr | DN 16 ISO-KF | RS485 und EtherCAT | MG920032 | 883,05 | |
| VSR54D | 220 gr | DN 16 ISO-CF-F | RS485 und 0-10V | MG920033 | 593,25 | |
| VSR54DL | 220 gr | DN 16 ISO-CF-F | X | RS485 und 0-10V | MG920034 | 682,50 |
| VSR54E | 220 gr | DN 16 ISO-CF-F | RS485 und EtherCAT | MG920035 | 904,05 |